Наноэлектроника. Учебник

Целью освоения дисциплины «Наноэлектроника» является изучение физических, экспериментальных и технологических основ современной электроники, перспектив ее развития на основе фундаментальных физических закономерностей и явлений, а также фундаментальных квантовых ограничений, таких как интерференционные эффекты, процессы туннелирования, баллистический транспорт. Под термином «наноэлектроника» в настоящее время понимается интенсивно развивающаяся отрасль науки и техники, которая занимается разработкой физических и технологических основ информационных приборов и устройств с характерными размерами меньше 100 нанометров. В данной книге большое внимание уделяется новым материалам, технологиям и физико-техническим принципам создания приборов и устройств.