Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование
Автор:
Киреев В. Ю.
Тип обложки: твердая
Страниц: 328
Вес: 0.515 кг
Год издания:
2016
ISBN: 978-5-91559-215-4
Цены в магазинах
Вы можете найти эту книгу здесь.
График изменения цены
На графике показано, как менялась цена на книгу "Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование".
Границы области показывают минимальную и максимальную цену в указанный день.
Границы области показывают минимальную и максимальную цену в указанный день.
Краткое описание книги
В учебно-справочном руководстве проведен анализ возможностей, особенностей, ограничений и областей применения различных литографических и нелитографических методов наноструктурирования для создания топологии ИС с элементами субстонанометрового диапазона. Показаны основные физические и химические механизмы и ограничения, лежащие в основе оптической нанолитографии, нанолитографии на экстремальном ультрафиолете, наноимпринт литографии, электронной нанолитографии и вакуумного газоплазменного травления.
Приведено современное производственное оборудование различных видов нанолитографии, его операционные и конструкционно-технологические параметры, технологические и экономические характеристики реализуемых процессов. Руководство для университетов с обучением по специальностям: 210601 "Нанотехнология в электронике", 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника", 222900 "Нанотехнология и микросистемная техника", 210600 "Нанотехнология", 210100 "Электронное машиностроение", а также для инженеров и научных работников.
Книги с похожим названием
Часто можно найти ту же самую или очень похожую книгу среди книг со схожим названием. Это может быть и та же самая книга,
но другого года издания или в дургом переплете.
Показать книги с похожим названием
Еще предложения магазинов
Посмотрите предложения магазинов, которые очень похожи на данную книгу. Это может быть та же самая книга,
по каким-то причинам не указанная в списке цен выше, или другое ее издание. Так же тут будут книги с похожим
названием.
Показать другие предложения магазинов